Почему датчик давления показывает стабильные результаты при положительном давлении, но при отрицательном давлении возникают нестабильности и нелинейное увеличение?


Сенсор давления с кремниевым стаканом, из-за анизотропной коррозии, при приложении положительного и отрицательного давления в разных направлениях, может привести к нелинейной асимметрии и увеличению нелинейности. В то же время, при положительном давлении сердечник находится в состоянии подвешивания и не подвержен влиянию внешних напряжений, что обеспечивает стабильный выход. Однако при отрицательном давлении состояние подвешивания сердечника нарушается, и напряжение воздействует на мембрану сердечника сенсора, что делает его нестабильным. Решение заключается в тщательной разработке и обработке внутренней части корпуса сенсора, чтобы избежать вмешательства напряжения в состоянии отрицательного давления.